電子束光刻技術(shù)中SiN膜是什么膜用中文怎么說(shuō)2，無(wú)掩膜光刻什么是無(wú)掩膜光刻3，電子束光刻什么是電子束光刻4，電子束光刻膠HSQ能用X射線輻照嗎5，哪里能做電子束光刻6，電子束光刻技術(shù)原理方法優(yōu)缺點(diǎn)急求查閱了資料還是覺得1，電子束光刻技術(shù)中SiN膜是什么膜用中文怎么說(shuō)保護(hù)不明白啊==！2，無(wú)掩膜光刻什么是無(wú)掩膜光刻無(wú)掩膜光刻是一類不采用光刻掩膜版的光刻技術(shù)，即采用電子束直接在硅片上制作出需要的圖形。無(wú)掩膜光刻機(jī)可以讀取任何CAD數(shù)據(jù)，除此之外，無(wú)掩膜光刻機(jī)還可以讀取Bitmap,PNG,DXF,GDSⅡ...

對(duì)于補(bǔ)充問(wèn)題：首先來(lái)說(shuō)cmos工藝中出現(xiàn)這個(gè)光刻?hào)砰L(zhǎng)也是對(duì)應(yīng)于cmos制作中在光刻步驟中由于無(wú)論是用電子束光刻，還是深紫外光刻，都會(huì)發(fā)生衍射的問(wèn)題演化出來(lái)的,光刻?hào)砰L(zhǎng)，無(wú)論是用電子束光刻，還是深紫外光刻，都會(huì)發(fā)生衍射，相當(dāng)于光柵實(shí)際長(zhǎng)度根物理長(zhǎng)度不等光蝕刻的尺度為什么與光的波長(zhǎng)相關(guān)而不是與光的振幅相關(guān)。1、光刻膠的作用光刻膠的作用光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，特別是近年來(lái)大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，更是大大促進(jìn)了光刻膠的研究開發(fā)和應(yīng)用。印刷工業(yè)是光刻膠應(yīng)用的另一重要領(lǐng)域。1954年由...