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更新時間:2023-06-05標簽: 廣州粉紅鏡面蝕刻廣州粉紅鏡面蝕刻 全文閱讀對于補充問題:首先來說cmos工藝中出現這個光刻柵長也是對應于cmos制作中在光刻步驟中由于無論是用電子束光刻,還是深紫外光刻,都會發生衍射的問題演化出來的,光刻柵長,無論是用電子束光刻,還是深紫外光刻,都會發生衍射,相當于光柵實際長度根物理長度不等光蝕刻的尺度為什么與光的波長相關而不是與光的振幅相關。1、光刻膠的作用光刻膠的作用光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展,更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。印刷工業是光刻膠應用的另一重要領域。1954年由...
更新時間:2023-03-05標簽: 電子束光刻尺寸蝕刻光刻光柵電子束 全文閱讀