為此專門組建了上海微電子裝備有限公司(SMEE)作為研發主力,并且把中電科45所有關光科技研發的技術團隊轉移到了上海。這也是目前江蘇省除南京市以外其他地級市難于達到的高度,徐州市在省級以上的科技創新平臺達到221個,科技企業孵化器達到50個,大中型工業企業及規模以上高新企業研發機構757個民營型科技企業10279個。
1、我國在光刻機研制方面是否有專業的研發機構或團隊?
答案是有的芯片加工其實是一個系統工程,其中光刻機的研制主要由各子系統及主系統集成幾個方面組成,我國在2002年推出的“十五”規劃中《國家科技16個重大專項》的(02專項)就是針對光刻機設備的研發。并且為此專門組建了上海微電子裝備有限公司(SMEE)作為研發主力,并且把中電科45所有關光科技研發的技術團隊轉移到了上海,
同時各主要的子系統部分也分別委托國內相關領域的頂尖科研團隊參與集體研發。極紫外光刻機(EUV)的研制主力研發單位是中國科學院長春光學精密機械與物理研究所(簡稱長春光機所)光源部分:由哈爾濱工業大學方面負責,最近消息DPP-EUV光源已經到了接近12*W的水平,物鏡部分:北京某單位已經研發成功對應的大口徑光學鏡面超精密加工機床,相關樣機已經研制完成。
目前極紫外光刻機(EUV)樣機已經完成并通過了國家驗收,預計兩年內正式量產的樣機即將問世,(畢竟長春光機所很早就是我國專業研究光刻機的科研單位,而且也是軍用衛星鏡頭的主要研究單位,光學實力還是有的,同時據說長春光機主導研發的軍用光刻機已經達到了28MN的加工精度,光機所控股的奧普光電就是以軍用芯片生產為主的企業,只不過軍用光刻機因為成本問題無法在民用領域進行推廣)深紫外浸入式光刻機(DUV)由上海微電子負責總體研發,其中超精密光柵系統來自中國科學院上海光學精密機械研究所(中科院下屬專門從事激光專業的研究所,簡稱上光所)光刻機物鏡組來自北京國望光學。
(主要科研團隊來自于長春光機所旗下的長春國科精密光學技術有限公司,是我國唯一一家超精密光學系統產業化技術研發單位,并且已經與長春光機所和上海光機所達成了戰略投資,)光源來自科益虹源。(是由亦莊國投、中國科學院光電院及微電子所、國科控股等共同出資設立,是具備專業高端準分子激光技術研究和產品化能力的企業)浸液系統來自浙江啟爾機電,
(公司前身是浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊,團隊先后承擔國家863計劃和國家02科技重大專項等科研項目30余項。公司專注于光刻機浸沒系統及其衍生產品的研發,在流體精密測控、(泛)半導體制造以及超純工藝等方面擁有豐富的技術經驗),雙工件臺來自華卓精科。(由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業技術研究院”和02專項的支持下創立,是一家肩負著專項重大科研成果產業化重任的高新技術企業,
華卓精科主要從事半導體制造裝備及其關鍵零部件研發、設計、生產、銷售與技術服務。)上海微電子將于今年(2020年)12月下線首臺采用ArF光源的可生產11納米的SSA800/10W光刻機(單次曝光28nm節點浸沒光刻機),采用NA1.35透鏡組,并搭載超精密磁懸浮雙工件臺和超純水浸入系統,同時采用華卓精科工作臺的套刻精度指標優于1.7納米。
2、江蘇有多少溫州投資商,浙江有多少江蘇投資商?
這應該沒有具體的統計數據,也沒誰會花時間去統計這樣的數據吧,浙江和江蘇都是我國經濟發達的省份,但浙江人善于經商是出了名的,據統計每9個浙江人中就有一位老板,每26個浙江人中就有一家企業,浙商也是全國最大的商人團體之一,它們把生意做到了國內外,因此在江蘇來自浙江的投資商應該不少,不過卻很少聽說江蘇投資商。
溫州在浙江乃至全國的知名度都很高,溫州是中國民營經濟發展的先發地區與改革開放的前沿陣地,曾經的“溫州模式”與“蘇南模式”和“珠三角模式”并立,享譽一時,引起全社會的普遍關注,溫州人做生意也是杠杠的,炒房團是出了名的。而且溫州人愛闖蕩,有報告顯示,每10個溫州人里就有3個在外地發展,省外的溫州人主要發布在江蘇、廣東、上海、福建、北京等經濟發達省市,其中溫州人外出打拼最多的地方就是江蘇,2018年的數據顯示是15.9萬,至于有多少是投資商就不得而知了。