光刻技術(shù)成為精密微加工技術(shù)1822年，法國人Nicephorenipce發(fā)明了光刻機器,高速nano光刻技術(shù)雙面光刻/干擾光刻/軟-1,集成電路光學(xué)光刻技術(shù)是量子隧穿,光刻技術(shù)指技術(shù)掩膜版上的圖案在光照的作用下，借助光刻膠(又稱光刻glue)轉(zhuǎn)移到襯底上,光刻技術(shù)成為精密微加工技術(shù)是。{0}1、光刻技術(shù)的簡述光刻技術(shù)指技術(shù)掩膜版上的圖案在光照的作用下，借助光刻膠(又稱光刻glue)轉(zhuǎn)移到襯底上。主要過程如下:首先用紫外光通過掩膜照射在一層光刻膠粘膜的基板表面，使曝光區(qū)域發(fā)生光刻膠的化學(xué)反應(yīng)；然后通過顯影技...